GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
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3.3 定位放线

3.3.1 设备定位放线应按工程设计图纸(生产设备平面布置图)进行,机柜正面与其相对的最近物体外表面或障碍物的最小距离应大于最深的抽屉或最宽的门的宽度200mm;带有减振器的设备与其相邻的墙壁或障碍物距离不得小于400mm。

本条规定的尺寸为设备布置时不影响设备使用、维修的最小极限尺寸。

3.3.2 设备的平面定位尺寸宜以设备配置房间的墙面为基准放出设备的平面轮廓线。轮廓线的标识应使用水性记号笔,并应经复核无误后在轮廓线转角处贴上醒目的单面粘胶带。

以设备配置房间的墙或间壁的内侧面作为设备定位的基准,在微电子生产设备平面布置图中普遍采用,这与一般机械设备的平面定位基准是不一样的,因此有必要写入条文。放线也不能用一般机械设备安装所采用的弹墨线方法,而是采用水性记号笔画线及贴标记的方法,目的是为了不污染工艺环境,容易擦除。